S8885-V系列采用超紧凑设计,两个微型压电促动器可远程调整倾斜和俯仰轴,在直径为0.5英寸的调整架上仅增加了0.5英寸的深度,且与支杆、基座和调整架完全兼容。具有一次设置永久有效的长期稳定性,断电时调节架依然固定在原位。其优化的弹簧位置和弹力,可提供平稳、可靠的电动调节,同时保持高水平的热稳定性和机械稳定性。
压电促动器
外形紧凑的惯性驱动原理。静止状态下,驱动器自锁,无需电流,不产生热量。其能用最大的力保持住位置
光学部件的校准
光程的稳定校准。长期定位稳定性:目标位置上的高稳定性,较长时间停机后仍能可靠启动。通过将压电陶瓷促动器与机械螺纹平移结合后实现高保持力和高分辨率。
真空版本
通过使用两个具有超高真空环境的压电促动器,它可以在直径为0.5英寸的调整架对倾斜和俯仰轴进行远程调节,设计用于低至10-9 Torr基本压力的超高真空应用,该单元的设计优势在包括真空紫外线(VUV)和极紫外线(EUV)应用的环境中至关重要。
型号 | S8885 | S8885-V(真空) |
光学元件直径 | 12.7 mm | 12.7 mm |
角分辨率 | 1.5 µrad | 1.5 µrad |
电动轴 | 2 | 2 |
角度范围 | ±3° | ±3° |
工作温度 | 10 to 40°C | 10 to 40°C |
螺纹类型 | M4 | M4 |
真空兼容性(真空版本) | / | 10-9 Torr |