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压电驱动   •   闭环控制   •   光纤对准   •   纳米定位
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中空旋转台
    发布时间: 2026-01-13 19:22    
中空旋转台

设计特性

  • 高精度360度连续旋转直驱转台

  • 重负载高精度

  • 0.05 角秒最小步进,±1 角秒重复性

  • 可水平或者竖立安装

  • 使用无刷槽伺服电机,转速超过500rpm

  • 超薄尺寸,使用紧凑的安装空间环境

  • 带中空设计,直径30毫米


应用描述

高精度的360度连续转台,采用旋转电机直驱控制,具备非常优秀的动态性能和定位精度。转台采用杰出的工业化设计,外观精致布局合理,具有侧向高度低的优点,适用于空间紧凑型应用。选用高精度圆光栅位置反馈,定位精度±2角秒,重复性小于±1角秒,最大水平负载可达30kg,最大侧向安装负载可达10kg,机械性能非常突出,大直径圆形轴承设计,系统刚性强,重复性好,重负载使用条件小也不会损失性能。

配置线性放大器,带隔振实验室环境下,转台的在位稳定性和最小步进量小于 0.05 角秒。转台具备灵活的配置选项,客户可以选择模拟量反馈或者数字量反馈,针对半导体客户的应用要求,提供了旋转单元和气管选项,有效地解决了360°连续旋转绕线问题。由于转台具备侧向高度低、定位精度和重复性好、带负载能力强的特点,它被广泛使用在半导体检测和封装等场合。


行程

360 度连续旋转

最小步长

2.4urad

最大转速

500 rpm

双向重复性

±5 urad (± 1 arc sec)

准确度

±10 urad (±2 arc sec)

在位稳定性

±0.2 urad (±0.04 arc sec)

摆角

97 urad (20 arc sec)

轴跳

5 um

径跳

5 um

最大负载

轴向水平安装:30kg;径向任意方向:10kg



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