纳维探索(上海)科技有限公司
N a v i E x p l o r e ( S h a n g h a i ) T e c h n o l o g y C o., L t d.
设计特性
高精度360度连续旋转直驱转台
重负载高精度
0.05 角秒最小步进,±1 角秒重复性
可水平或者竖立安装
使用无刷槽伺服电机,转速超过500rpm
超薄尺寸,使用紧凑的安装空间环境
带中空设计,直径30毫米
应用描述
高精度的360度连续转台,采用旋转电机直驱控制,具备非常优秀的动态性能和定位精度。转台采用杰出的工业化设计,外观精致布局合理,具有侧向高度低的优点,适用于空间紧凑型应用。选用高精度圆光栅位置反馈,定位精度±2角秒,重复性小于±1角秒,最大水平负载可达30kg,最大侧向安装负载可达10kg,机械性能非常突出,大直径圆形轴承设计,系统刚性强,重复性好,重负载使用条件小也不会损失性能。
配置线性放大器,带隔振实验室环境下,转台的在位稳定性和最小步进量小于 0.05 角秒。转台具备灵活的配置选项,客户可以选择模拟量反馈或者数字量反馈,针对半导体客户的应用要求,提供了旋转单元和气管选项,有效地解决了360°连续旋转绕线问题。由于转台具备侧向高度低、定位精度和重复性好、带负载能力强的特点,它被广泛使用在半导体检测和封装等场合。
行程
360 度连续旋转
最小步长
2.4urad
最大转速
500 rpm
双向重复性
±5 urad (± 1 arc sec)
准确度
±10 urad (±2 arc sec)
在位稳定性
±0.2 urad (±0.04 arc sec)
摆角
97 urad (20 arc sec)
轴跳
5 um
径跳
最大负载
轴向水平安装:30kg;径向任意方向:10kg