工作原理

高精密位移台配合我司的压电促动器，应用于更加精密的位置运动。通过配套控制器控制促动器使其保持在设定位置，或命令它运动一段指定的距离。您还可以选择在特定位置之间进行移动，或以一定的速率移动。

闭环控制版本：位移台配备位移传感器，实时监测位移台的实际位置并反馈给控制器，控制器将实际位置与目标位置进行对比，根据偏差调整施加到压电促动器的电压，实现精确位置控制。

产品特点

• 高精度定位：纳米级定位精度

• 高分辨率：可实现极小位移增量

• 大行程，高负载

• 结构紧凑：体积小、重量轻，便于集成到各种精密仪器和设备中。

应用领域

• 半导体制造：用于晶圆切割、芯片检测、光刻等工艺中的精密定位。

• 生物医学：在显微镜系统中精确调整样本位置，也可用于生物细胞操作、基因检测等领域。

• 光学工程：实现光学元件的精密对准和调整，如激光加工设备中镜片、反射镜的位置调整。

• 纳米技术研究：在扫描探针显微镜（SPM）等设备中，控制探针与样品之间的距离和位置，进行纳米级的测量和操作。