纳米级定位精度的气浮平台，采用直线电机驱动，利用空气弹性势能作为支撑导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，空载截止频率最大可达120Hz以上。
气浮平台是正负压设计，空气负压保证空气导轨的正常气隙。对于一些大体积负载在气浮导轨上不均匀分布的应用，这种设计的优势就体现出来了，非常适合重负载的应用。专业的设计和制造技术铸就了平台杰出的几何性能，超薄的气隙有利于减少步进稳定时间，平台的最小步进优于10nm；1mm和25mm步进快速整定测试可以分别在40ms和170ms内整定到±100nm。
同时平台的平面度、直线度以及Pitch/Yaw/Roll摆角指标控制也相当出色。平台有较强的驱动能力，最大空载速度2000mm/s，空载加速度可达2g。
高动态性能（截止频率大于120Hz）
空气环绕型预载，零摩擦
高刚性和重负载设计
为高性能扫描和检测应用量身设计
分辨率1 nm，定位精度10nm
行程最可达500 mm，带线缆管理
高精密零膨胀光栅反馈
主要应用
大型光学透镜检测、半导体领域的晶圆缺陷检测、精密制造和封装等，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。
测试数据
10nm最小步进（实验室环境，配置线性放大器）
20nm最小步进（实验室环境，配置线性放大器）
平台动态性能测试
2.2mm@40ms@±350nm（实验室环境，配置线性放大器）
型号 | NQLS-50 | NQLS-100 | NQLS-200 | NQLS-300 | NQLS-400 | NQLS-500 |
有效行程\Travel | 50 mm | 100 mm | 200 mm | 300 mm | 400 mm | 500 mm |
分辨率\Resolution(1) | 1 nm |
最小步进量\Minimum Incremental step(1) | 10 nm |
绝对定位精度\Accuracy | ±0.2 μm | ±0.2 μm | ±0.3μm | ±0.3μm | ±0.4 μm | ±0.5μm |
双向重复定位精度\Bi-Repeatability | ±0.1μm | ±0.1μm | ±0.1μm | ±0.2 μm | ±0.25μm | ±0.3μm |
俯仰\Pitch | ±1.0 arc sec | ±1.5arcsec | ±2.5 arc sec | ±3arcsec | ±4 arc sec | ±5arcsec |
横滚\Roll | ±1.5 arc sec | ±1.5arcsec | ±2.5 arc sec | ±3arcsec | ±4 arc sec | ±5arcsec |
偏摆\Yaw | ±1.0 arc sec | ±1.5arcsec | ±2.5 arc sec | ±3arcsec | ±4 arc sec | ±5arcsec |
直线度\Straightness | ±0.3 μm | ±0.5μm | ±0.6μm | ±0.75μm | ±1.5μm | ±2μm |
平面度\Flatness | ±0.3 μm | ±0.5μm | ±0.6μm | ±0.75μm | ±1.5μm | ±2 μm |
平台重量\Stage Mass | 15 kg | 16 kg | 19 kg | 23 kg | 25 kg | 30 kg |
最大水平负载\Load Horizontal Capacity | 35kg |
最大侧向负载\Load Side Capacity | 20 kg |
在位稳定性\In Position Stability(1) |
±10 nm
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最大速度\Maximum Speed(2) | 2000 mm/s |
最大加速度\Maximum Acceleration(2) | 2g |
持续推力\Continuous Force | 112.1N |
峰值推力\Peak Force |
651.5N
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工作气压\Operating Pressure(5) | 5.5 bar(建议干燥空气，滤水滤油，粉尘过滤到0.5μm以下) |
平台材质\Material | 铝 | 铝 |
平均无故障时间\MTBF 27,000 Hours | 27,000 Hours |
