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压电驱动   •   闭环控制   •   光纤对准   •   纳米定位
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压电物镜升降台
    发布时间: 2026-01-13 20:20    
压电物镜升降台

压电物镜升降台是专为显微镜物镜Z向精准聚焦设计的纳米定位设备,核心用于显微镜系统中的纳米级聚焦、样品升降或物镜调整。


核心特点

超高精度

  • 分辨率多达纳米甚至亚纳米级,响应速度为毫秒级,远快于传统电机驱动;无机械摩擦、零间隙,聚焦稳定性强;大多配有分离式螺纹适配器,能适配蔡司、尼康等主流品牌显微镜物镜。

结构设计

  • 通常采用柔性铰链导向系统(无机械摩擦、零间隙),搭配压电陶瓷堆叠驱动,兼顾刚性与运动平稳性。

兼容性

  • 支持真空环境使用,可集成位移传感器实现闭环控制,补偿温度漂移和压电迟滞。
  • 可定制尺寸,行程等。


典型应用
  • 科研领域:原子力显微镜(AFM)、共聚焦显微镜、表面轮廓测量;
  •  工业领域:半导体检测、纳米加工、高精度成像设备的自动聚焦。超分辨率显微镜。


型号

NV-LM300

NV-LM1000

/

运动方位

Z

Z

/

行程

300

1000

微米

分辨率

2

2

纳米

线性误差

0.3

0.5

%

重复精度

±40

±40

纳米

偏转角

<5

<10

微弧度

负载

1000

500

g

控制功能

闭环控制

工作温度范围

-40 到 80

-40 到 80

°C



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