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气浮转台
    发布时间: 2026-01-13 18:49    
气浮转台

精密气浮轴承转台主要面向半导体设备以及激光领域;高精度的回转精度,提供超平稳的运动,角秒级别的精度和绝对重复性; 高超的制造水平,保证了气浮轴承的质量和稳定性;轻质化设计,产品重量轻,更便于集成。


大负载、高精度的气浮轴承

NSRT系列采用了高精度空气静压轴承技术,达到较大的轴向负载,可达500kg,满足多种类型测量需求;系列轴承具有极高的轴承回转精度,径向同步误差运动值<100nm,轴向同步误差运动值<50nm 。 


高水平的加工技术

NSRT系列转台内部设计及制造水平要求极为严格,零件采用超精密加工方法,轴承加工精度达到亚微米级,从而保证了气浮轴承能达到极高的精度;自主研发的材料热处理方式、涂层等,保证了零件的稳定性以及表面质量。


重复性高、可实现极高定位精度 

由于气浮转台平稳的运动性能,无摩擦和阻力,有极好的机械性能;采用无框力矩电机驱动和高精度圆光栅做反馈,高性能伺服控制器进行控制,可实现±1.5 arcsec 的回转定位精度,±1 arcsec 的回转重复定位精度。


多种配置可选

基于自主设计和制造能力及创新精神,NSRT系列轴承还有以下可选项:

  • 台面真空进气:

  • 高精度的定心及夹持工装;

  •  电机可选,并可增加水冷。


灵活定制

基于自主设计和制造能力及创新精神,可接受定制服务,根据客户需求,进行定制化设计与生产制造。

型号 Series

NSRT-100

NSRT-150

NSRT-300

NSRT-400

台面直径(Tabletop Diameter)

100mm

150mm

300mm

400mm

高度(Height)

95mm

95mm

105mm

150mm

中孔尺寸(Aperture)

25mm

35mm

70mm

70mm

最高转速(Max Speed)

600 rpm@48V

300rpm

200rpm

200rpm

峰值扭矩(Peak Torque)

3.9 N.m

2.1Nm

25Nm

25Nm

连续扭矩(Continuous Torque)

3.2 N.m

2.8Nm

11Nm

11Nm

定位精度(Accuracy)

±1.5arc sec

±2 arc sec

重复定位精度(Repeatability)

±1 arc sec

±1 arc sec

负载
(Max Load)

轴向

50 KG

50KG

450KG

500KG

径向

17KG

30KG

130KG

130KG

轴向误差运动(同步)
Axial Error Motion (Synchronous)

<50nm

<50nm

<50nm

<50nm

径向误差运动(同步)
Radial Error Motion (Synchronous)

<100nm

<100nm

<100nm

<100nm

倾摆误差运动(同步)
Tilt Error Motion (Synchronous)

<2.5urad

<2.5urad

<2.5urad

<2.5urad

供气压力(Operating Pressure)

0.55Mpa

0.45Mpa

0.45Mpa

0.45Mpa

质量(Total Mass)

4 kg

15KG

50KG

60KG




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