精密气浮轴承转台主要面向半导体设备以及激光领域;高精度的回转精度,提供超平稳的运动,角秒级别的精度和绝对重复性; 高超的制造水平,保证了气浮轴承的质量和稳定性;轻质化设计,产品重量轻,更便于集成。
大负载、高精度的气浮轴承
NSRT系列采用了高精度空气静压轴承技术,达到较大的轴向负载,可达500kg,满足多种类型测量需求;系列轴承具有极高的轴承回转精度,径向同步误差运动值<100nm,轴向同步误差运动值<50nm 。
高水平的加工技术
NSRT系列转台内部设计及制造水平要求极为严格,零件采用超精密加工方法,轴承加工精度达到亚微米级,从而保证了气浮轴承能达到极高的精度;自主研发的材料热处理方式、涂层等,保证了零件的稳定性以及表面质量。
重复性高、可实现极高定位精度
由于气浮转台平稳的运动性能,无摩擦和阻力,有极好的机械性能;采用无框力矩电机驱动和高精度圆光栅做反馈,高性能伺服控制器进行控制,可实现±1.5 arcsec 的回转定位精度,±1 arcsec 的回转重复定位精度。
多种配置可选
基于自主设计和制造能力及创新精神,NSRT系列轴承还有以下可选项:
台面真空进气:
高精度的定心及夹持工装;
电机可选,并可增加水冷。
灵活定制
基于自主设计和制造能力及创新精神,可接受定制服务,根据客户需求,进行定制化设计与生产制造。
型号 Series | NSRT-100 | NSRT-150 | NSRT-300 | NSRT-400 |
台面直径(Tabletop Diameter) | 100mm | 150mm | 300mm | 400mm |
高度(Height) | 95mm | 95mm | 105mm | 150mm |
中孔尺寸(Aperture) | 25mm | 35mm | 70mm | 70mm |
最高转速(Max Speed) | 600 rpm@48V | 300rpm | 200rpm | 200rpm |
峰值扭矩(Peak Torque) | 3.9 N.m | 2.1Nm | 25Nm | 25Nm |
连续扭矩(Continuous Torque) | 3.2 N.m | 2.8Nm | 11Nm | 11Nm |
定位精度(Accuracy) | ±1.5arc sec | ±2 arc sec |
重复定位精度(Repeatability) | ±1 arc sec | ±1 arc sec |
负载 (Max Load) | 轴向 | 50 KG | 50KG | 450KG | 500KG |
径向 | 17KG | 30KG | 130KG | 130KG |
轴向误差运动(同步) Axial Error Motion (Synchronous) | <50nm | <50nm | <50nm | <50nm |
径向误差运动(同步) Radial Error Motion (Synchronous) | <100nm | <100nm | <100nm | <100nm |
倾摆误差运动(同步) Tilt Error Motion (Synchronous) | <2.5urad | <2.5urad | <2.5urad | <2.5urad |
供气压力(Operating Pressure) | 0.55Mpa | 0.45Mpa | 0.45Mpa | 0.45Mpa |
质量(Total Mass) | 4 kg | 15KG | 50KG | 60KG |