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压电驱动   •   闭环控制   •   光纤对准   •   纳米定位
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六足位移台
    发布时间: 2026-01-13 18:51    
六足位移台

结构与原理

  • 结构:六足位移台通常由一个固定基座、六个可伸缩的促动器(机械臂)和一个活动平台组成。每个促动器通过万向节或关节分别与底板和活动平台相连。

  • 原理:通过控制六个促动器的长度变化,实现活动平台在三维空间中的六个自由度运动,即沿X、Y、Z轴的平移运动和绕X、Y、Z轴的旋转运动。


产品特点

  • 高刚度与稳定性:采用并联运动设计,使其具有较高的刚度,能在变力作用下保持所需位置,不受外力影响,性能稳定。

  • 高精度:设计独特,选用高品质材料和组件,最小位移可达纳米级,重复精度高

  • 紧凑空间适应性:结构紧凑,能在狭小空间内执行多轴运动,便于集成到各种定制流程、机器和系统中。

  • 可自由定义旋转中心:旋转中心的位置和参考坐标系的方向可通过软件命令快速轻松地定义,以适应特定要求。

   

应用领域

  • 精密装配:在半导体制造、微机电系统(MEMS)制造等领域,用于精密零部件的装配和对准,如芯片封装、光学元件组装。

  • 光学与光子学:在光纤通信、激光加工、光学测量等方面,用于光纤对准、光学元件的精确调整和定位,以确保光路的准确性和稳定性。

  • 运动仿真:用于模拟各种运动场景,如汽车、飞机等交通工具的驾驶模拟,以及相机或移动设备的图像防抖功能测试。

  • 自动化检测:在工业自动化生产线上,用于对产品进行高精度的检测和测量,如汽车零部件、机械零件的尺寸和形位公差测量。


运动行程

XY±18mm,Z±10mm

θXY±7°,θZ±18°

重复定位精度

±1um (负载不变)

最大负载

20kg

Unidirectional repeatability in X

±1um

Unidirectional repeatability in Y

±1um

Unidirectional repeatability in Z

±0.5um

Unidirectional repeatability in θX

±2.5urad

Unidirectional repeatability inθY

±2.5urad

Unidirectional repeatability in θZ

±2.5urad

Maximum holding force, base plate horizontal

20kg

overallmass

7.8kg



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