纳维探索（上海）科技有限公司

纳维探索（上海）科技有限公司

N a v i E x p l o r e ( S h a n g h a i ) T e c h n o l o g y C o., L t d.

压电驱动 • 闭环控制 • 光纤对准 • 纳米定位

网站首页 ∷ 位移台 ∷ 速度稳定性电控位移台

当前位置：

速度稳定性电控位移台

发布时间: 2026-01-13 19:54

我们采用超高精度等级导轨，机械底板和上板我们会采用航空铝7075，在生产加工中采用深冷极热工艺来去除加工应力。保证导轨安装面的精度在2~3微米。光栅尺，我们采用的是最高分辨率的光栅尺。并配以低膨胀系数的玻璃基底。对于导轨的装调会非常精细，要保证导轨的运动阻尼非常轻，同时测量其运动精度达到所有指标，传统精密运动控制器基本基于PID来控制三环。而使用带线性放大器功能的控制器使平台的跟随误差提升一个数量级。

控制原理：闭环控制系统是关键，由高性能控制器、编码器和传感器构成。编码器实时反馈位移台的位置信息，控制器根据设定值与实际值的偏差进行调整，实现精准控制。

Model		ANT130-L60
Travel		60 mm
Resolution (Minimum Incremental Motion)		1 nm
Repeatability (Bidirectional)(1)		±75 nm
Repeatability (Unidirectional)		±25 nm
Accuracy		±250 nm
Straightness		±1.0 µm
Flatness		±1.0 µm
Pitch		10 arc sec
Roll		10 arc sec
Yaw		5 arc sec
Maximum Speed		350 mm/s
Maximum Acceleration		1 g (No Load)
Speed Stability	10mm/s	0.20%
	1mm/s	2%
	0.2mm/S	10%
In-Position Stability		<1 nm
Maximum Force (Continuous)		23 N
Load Capacity		10 kg
Moving Mass		1.4 kg
Stage Mass		2.5 kg