有效行程\Travel

60 mm x 60 mm

110 mm x 110 mm

160 mm x 160 mm

分辨率/Resolution

1nm

绝对定位精度\Accuracy

±250nm

双向重复定位精度\Bi-Repeatability

±75nm

直线度/Straightness

±1.5 µm

±2.0 µm

平面度\Flatness

±1.5 µm

±2.0 µm

俯仰\Pitch

10 arc sec

12 arc sec

15 arc sec

横滚/Roll

10 arc sec

12 arc sec

15 arc sec

偏摆\Yaw

5 arc sec

6 arc sec

8 arc sec

正交性\Orthogonality

10 arc sec

最大速度\Maximum Speed

350 mm/s

最大加速度\Maximum Acceleration/ (No Load)

1 g (Upper Axis)

在位稳定性\In Position Stability

<1 nm

Load Capacity-Horizontal

12 kg

移动部分重量\Moving Mass - 上轴UpperAxis

1.7 kg

2.3 kg

2.3 kg

移动部分重量\Moving Mass - 下轴LowerAxis

4.4 kg

5.9 kg

7.1 kg

平台重量\Stage Mass

6.1 kg

7.9 kg

9.4 kg

平台材质\Material

铝（黑氧）Anodized Aluminum